CAS: 74227-35-3; (Thiodi-4,1-Phenylene)Bis(Diphenylsulfonium) Bis(Hexafluorophosphate)

该化合物是一种基于全氟辛烷磺酸的光酸化生成器,广泛用于高级石造应用的光阻配方,特别是在半导体制造中,其主要优点包括高热稳定性,紫外照射下高效的光分解和强酸生成,这能增强成型分辨率.六氟磷化物对冲有助于改善有机溶剂中的溶解性,确保形成统一的胶片.这种化合物因其挥发性低,而且与化学放大阻力系统兼容性强,能够精确控制微构件过程中的关键尺寸,其强大的性能使其适合深紫外(DUV)和极紫外(EV)激光法的高分辨率建模.

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相似化合物

4270-70-6 3353-89-7 58621-56-0

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