双酚芴 反应生成 4-[2-[4-羟基-3,5-二(羟基甲基)苯基]丙-2-基]-2,6-二(羟基甲基)苯酚
参考文献:Crosslinking Agent,Negative Resist Composition,And Pattern Forming Method Using The Negative Resist Composition
标题:Crosslinking Agent,Negative Resist Composition,And Pattern Forming Method Using The Negative Resist Composition
摘要:本发明涉及一种负型光阻组合物,通过暴露于电子束或极紫外线下表现出优异的感光性和分辨率,以及适用于该光阻组合物的新型交联剂和使用该光阻组合物的图案形成方法.该负型光阻组合物包括:(a)一种聚酚化合物,其分子中包含两个或更多酚羟基,并且分子量为300至3,000,(b)一种酸发生剂,通过暴露于波长为248Nm或更短的活性能量射线而直接或间接产生酸,以及(c)一种由以下化学式(1)表示的交联剂.(化学式(1)中所示的符号在说明中有定义).