甲基丙烯酰氯,六氟丁醇,对苯二甲醚 反应 3.0H,以to Give 15 Parts Of 2,2,3,4,4,4-Hexafluorobutyl Methacrylate (的收率获得
参考文献:Fluoroalkyl Acrylate Resist Material And Process For Forming Fine Resist
标题:Fluoroalkyl Acrylate Resist Material And Process For Forming Fine Resist
摘要:一种具有高敏感性,高分辨率和对基底材料具有非常好粘附性的正型抗蚀材料,包括以下通式的氟烷基丙烯酸酯共聚物: ##str1## 其中,R.Sub.1是甲基基团,乙基基团,卤素取代的甲基或乙基基团,卤素原子或氢原子,R.Sub.2是具有1至6个碳原子的双价碳氢基团,R.Sub.F是具有1至15个碳原子的氟烷基团,与选自以下群组的丙烯酸酯共聚物:环氧基丙烯酸酯,丙烯酸,丙烯酰胺和α-氰基丙烯酸酯.