1,8-萘二甲酸酐置于吡啶,盐酸羟胺,碳酸氢钠体系中,用 乙醇,乙腈 作为反应溶剂,化学反应 15.0H,反应生成 N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸
参考文献: Photosensitive Molecule And Application Thereof[fr] Molécule Photosensible Et Son Application[zh] 感光分子及其应用
标题: Photosensitive Molecule And Application Thereof[fr] Molécule Photosensible Et Son Application[zh] 感光分子及其应用
摘要:本申请实施例提供一种感光分子和包含该感光分子的光产酸剂和感光树脂组合物,其分子结构包括含萘环的主结构,与主结构中萘环连接的杂环基x,与杂环基连接的r2;r2选自卤素,芳基,芳烷基,烷芳基,卤代芳基,烷氧基芳基,环氧烷基,环氧芳基,羟基烷基,羟基芳基,羟基烷基取代羟基芳基,氨基芳基,烷基醚基,芳基醚基,环氧烷氧基,环氧烷氧基取代芳基,或含烷氧基硅烷中的一个基团.该感光分子通过在萘环上引入杂环结构和特定的r2基团,可有效改善感光树脂组合物的图案分辨率,及与铜,硅等界面的粘附性,赋予感光分子多功能,简化树脂组合物配方.