Tris(1,1,1,5,5,5-Hexafluoro-2,4-Pentandionato-κ2O)Praseodymium(III) Diglyme Monosolvate置于o2体系中,用 Neat (No Solvent) 用作溶剂,化学反应生成氟化镨
参考文献:Pr(III) 前驱体的热性能研究及其在氧化镨薄膜 Mocvd 生长中的应用
标题:Pr(III) 前驱体的热性能研究及其在氧化镨薄膜 Mocvd 生长中的应用
摘要:镨加合物,Pr(Hfa) 3 .Diglyme [(H-Hfa = 1,1,1,5,5,5-六氟-2,4-戊二酮,二甘醇二甲醚 = Ch 3 O(Ch 2 Ch 2 O) 2 Ch 3 )] 已合成.它已被用作金属有机化学气相沉积 (Mocvd) 硅衬底上含镨薄膜的 Pr 源,并与 Pr(Tmhd) 3 [(H-Tmhd = 2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)]前体.Pr(Hfa) 3 .Diglyme 和pr(Tmhd) 3 前体的物理和热性能已经过全面分析,并且它们作为mocvd前体在氧化镨薄膜生长中的功效已经过全面测试.根据氧分压 (P O2 ),已获得不同的氧化镨相.
Doi:10.1149/1.1779336